Данная секция охватывает тематику технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства микросхем и полупроводниковых приборов. Производство конкурентоспособной ЭКБ невозможно без современного специального технологического оборудования с высокой степенью автоматизации, которое и обеспечивает заданные характеристики и технологические нормы. Исследования, разработка и производство технологического оборудования является важнейшей неотъемлемой частью общего развития микроэлектроники в России. Работа секции будет направлена на формирование перспективных направлений в исследовании и разработках технологического оборудования для современного ЭКБ.