ОПИСАНИЕ СЕКЦИИ
Данная секция охватывает тематику технологий и компонентов микро- и наноэлектроники:
— технологии изготовления интегральных микросхем;
— технологии изготовления полупроводниковых приборов;
— компоненты интегральных микросхем;
— применение новых материалов в технологии изготовления микросхем и полупроводниковых приборов;
— технологические процессы в технологии интегральных микросхем и полупроводниковых приборов;
— технологии интеграции элементов кремниевых ИС и СВЧ компонентов А3В5;
— электрофизические характеристики компонентов интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.
МОДЕРАТОРЫ СЕКЦИИ
Шелепин Николай Алексеевич,
доктор технических наук, профессор,
«ИНМЭ РАН»
Путря Михаил Георгиевич,
доктор технических наук, профессор,
НИУ МИЭТ